电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了的运动线性,长期稳定性以及kHz范围内的带宽。
自动配置和快速的组件更换
机械和控制器可以根据需要进行组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时,数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
适用于复杂的真空应用
压电系统中使用的所有组件都适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的除气率。
PICMA®压电执行器,使用寿命长
获得利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明,没有单一故障的1000亿次循环。
零游隙挠性导轨,导向精度高
挠性导板无维护,无摩擦和无磨损,并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力,并且冲击和振动不敏感。它们是100%真空兼容的,并且可在较宽的温度范围内工作。
平行位置测量,在纳米范围内具有很高的跟踪精度
所有的自由度均以单个固定参考为参考。可以实时(取决于带宽)主动补偿(主动引导)轴之间的不良串扰。即使在动态操作中,也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。
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